пропорционально длине кантилевера, и следовательно, чем кантилевер
короче, тем выше коэффициент передачи. Кроме того, коэффициент усиления
может заметно изменяться в зависимости от юстировки кантилевера.
Оператор может контролировать петлевой коэффициент усиления регулировкой
усилителя с изменяемым коэффициентом усиления в интеграторе.
При больших значениях петлевого усиления генерация возникает на частотах
первого резонанса пьезосканера. Для сканера с полем 11х11 мкм2- примерно
10 кГц, с полем 25Х25 мкм2 около 7,5 кГц. Частота генерации зависит от
массы образца. Для устранения генерации достаточно уменьшить коэффициент
усиления регулируемого усилителя. При этом амплитуда автоколебаний будет
уменьшаться без изменения частоты.
При наличии большого трения между образцом и иглой также может возникать
другой вид генерации.
Для него характерно, что при уменьшении коэффициента усиления в петле
обратной связи, частота уменьшается без изменения амплитуды, причем
может достигать долей герца, но тем не менее генерация всегда
присутствует. Избежать этого вида генерации можно уменьшением силы
трения за счет уменьшения силы взаимодействия или использованием
коротких кантилеверов. При сканировании амплитуда генерации значительно
падает, поэтому во многих случаях ее присутствие практически не
сказывается на качестве изображения.
На полученном в результате сканирования изображении могут присутствовать
сбои, имеющие вид отдельных линий в направлении сканирования,
отличающихся по высоте от общего рельефа. Они вызваны тем, что игла
цепляется за неровности рельефа и затем проскальзывают по образцу или
тем. что игла частично разрушает образец. Избежать таких сбоев можно
подбором направления сканирования, уменьшением силы прижима, уменьшением
скорости сканирования. Выбор направления сканирования в различных
режимах связан с тем, что кантилевер по-разному ваимодействует с
возникающими изменениями рельефа. При сканировании в положительном
направлении (+Y) можно считать, что кантилевер движется снизу вверх
относительно изображения поверхности на мониторе (на самом деле
сканирование осуществляется образцом, который движется в обратном
направлении). При этом он наезжает на препятствия пологим склоном иглы и
при этом преодолевает их. При таком варианте сканирования сбои - срывы
кантилевера возникают реже. Если же он наезжает на препятствия стороной
под углом 75, то он значительно чаще цепляется за неровности и чаще
возникают сбои на изображении. Вообще, в зависимости от образца
необходимо подбирать направление сканирования. В части случаев
оказывается выгодным сканировать на +Х или -X, например, при снятии
изображения боковых сил. На изображении могут возникать характерные
следы связанные с особенностями рельефа в направлении быстрого
сканирования, обусловленные конечной скоростью работы обратной связи. Их
величина зависит от скорости сканирования, петлевого коэффициента
усиления, характера рельефа. Если во время сканирования регистрировать
сигнал ошибки обратной связи, то эти отклонения будут хорошо видны.
Получившееся изображение содержит практически всю потерянную при снятии
топографии информацию. Используя результаты сканирования в режиме топо-
графии и в режиме регистрации ошибки обратной связи, можно точнее
восстанавливать топографию поверхности.
2.2.2.3 Режим снятия изображения сил.
Работа АСМ с использованием обратной связи приводит к увеличению уровня
шумов, частичной потере информации о топографии поверхности или
ограничению скорости сканирования. В некоторых случаях оказывается
полезным использование режима сканирования при котором обратная связь
отключается, положение пьезосканера по Z фиксируется, а регистрируемым
сигналом становится непосредственно сигнал расcогласования в фотодиоде.
Это режим постоянной высоты (Z=соnst). В этом случае сила прижатия
кантилевера к поверхности изменяется в процессе сканирования, Однако,
если образец достаточно жесткий, получаемое изображение хорошо отражает
топографию поверхности. Используя результаты снятия зависимости прогиба
кантилевера от расстояния между зондом и образцом, можно пересчитать
регистрируемый ток в линейные размеры. Однако нужно помнить, что при
больших отклонениях от нулевого положения зависимость разностного
сигнала рассогласования от перемещения зонда становится нелинейной.
Примерный диапазон линейности зависит от кантилевера: чем короче
кантилевер, тем меньше диапазон. Динамика отслеживания поверхности в
этом режиме ограничена частотными свойствами кантилевера, а не обратной
связи. Резонансные частоты кантилеверов значительно выше характерной
частоты обратной связи, которая составляет единицы килогерц. Это дает
возможность сканировать с более высокими скороcтями
1.2.2.4 Режим регистрации ошибки обратной связи.
Ошибка обратной связи, возникающая при сканировании в режиме топографии,
содержит дополнительную информацию о топографии. Она может быть
использована для более точного восстановления рельефа.
Однако этот режим можно рассматривать как промежуточный между режимом
постоянной силы и постоянной высоты, если отрегулировать скорость
отработки обратной связи так, чтобы она отслеживала пологие изменения
рельефа и не успевала отслеживать крутые. Тогда во время пересечения
зондом небольших неоднородностей сканирование будет происходить при
почти постоянной длине пьезосканера. В результате на изображении будут
слабо проявляться медленные изменения рельефа и с высоким контрастом -
резкие. Это может быть полезно для отыскания мелких неоднородностей
на большом поле на фоне крупных пологих особенностей рельефа.
1.2.2.5 Измерение боковых сил
Во время сканирования по +Х или -X возникает дополнительная крутильная
деформация кантилевера. Она обусловлена моментом сил, действующих на
острие иглы. Угол кручения при небольших отклонениях пропорционален
боковой силе. Измерительная система микроскопа позволяет регистрировать
кручение кантилевера. Луч лазера, отраженный от кантилевера, получает в
этом случае дополнительное смещение в боковом направлении (Рис.6). В
этом случае регистрируется сигнал (А+В) - (С+D). Для измерения боковых
сил АСМ работает в режиме поддержания постоянной силы, т.е. как при
снятии топографии.
При движении по плоской поверхности, на которой присутствуют участки с
разным коэффициан-том трения, угол кручения будет изменяться от участка
к участку (Рис.7).
Рис.7
Это позволяет говорить об измерении локальной силы трения. Если
присутствует рельеф, то такая интерпретация невозможна (Рис, 8).
Рис.8
Тем не менее, этот вид измерений позволяет получать изображения, на
которых хорошо видны мелкие особенности рельефа, и облегчать их поиск. В
режиме измерения боковых сил легко получать атомарное разрешениена слюде и
некоторых других слоистых материалах.
Следует отметить, что при измерении топографии с атомарным разрешением
получается атомарный рельеф до нескольких ангстрем, тогда как реальный
рельеф составляет доли ангстрема. Такая большая величина рельефа
объясняется влиянием крутильной деформации кантилевера из-за неидеальности
регистрирующей системы - кручения кантилевера воспринимается как его
продольный изгиб. Это возникает например даже при очень небольшом угле
поворота фотодиода относительно направления движения луча при продольном
изгибе кантилевера.
2.2.3 Вибрационные и модуляционные методы измерений
На базе различных принципов зондовой микроскопии были разработаны
многочисленные методы получения информации о свойствах поверхности,
использующие вибрацию зонда или образца или модуляцию параметра.
Использование вибрации или модуляции на достаточно высокой частоте
позволяет, с одной стороны, регистрировать дифференциальные характеристики,
поддерживая постоянные средние значения величин, а с другой стороны -
значительно уменьшать величины шумов с частотной зависимостью 1/f(где f -
частота) за счет переноса спектра сигнала из области вблизи 0 Гц в область
высоких частот.
В числе общих преимуществ отдельных вибрационных методов можно назвать, во-
первых, использование резонансных свойств системы, что позволяет
существенно повысить чувствительность по сравнению со статическим
измерением, а во-вторых, уменьшение сил взаимодействия, в частности,
боковых, между зондом и поверхностью в бесконтактном (полуконтактном)
режимах. В СТМ-режиме вибрация образца или иглы позволяет модулировать
туннельный зазор и, детектируя изменения туннельного тока, получать сигнал
dI/dz, дающий информацию о локальной высоте потенциального барьера для
электронов (локальной работе выхода). Модуляция туннельного напряжения u в
СТМ - режиме позволяет регистрировать сигнал dI/dz, определяемый локальной
спектральной плотностью состояний.
В АСМ режиме вибрация образца и регистрация амплитуды отклика кантилевера
дает информацию о локальной жесткости образца. Детектирование амплитуды
и/или фазы колебаний кантилевера, возбуждаемого ньезоэлементом, позволяет
сканировать в бесконтактном и полуконтактном режиме рельеф поверхности даже
таких образцов, которые нельзя исследовать в контактном режиме ввиду того,
что они легко деформируются или разрушаются иглой кантилевера. Эти режимы
позволяют также использовать кантилеверы с тонкими и очень острыми иглами,
которые в контактном режиме сами легко разрушаются.
1.2.3.1 СТМ-методы
Режим измерения локальной высоты барьера
В режиме измерения локальной высоты потенциального барьера для
туннелирующих элекронов, которую можно с некоторой натяжкой называть
локальной работой выхода, сигнал модуляции прикладывается к 2-обкладкам
пьезотрубки. Обратная связь в процессе сканирования поддерживает
низкочастотную составляющую туннельного тока постоянной. При этом
регистрируется амплитуда высокочастотных колебаний туннельного тока,
модуляцией туннельного промежутка из-за вызванных вибраций пьезотрубки.
В приближении простейшей одномерной модели туннелирования электрона через
